極大規(guī)模集成電路含氟電子氣體實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化 年產(chǎn)量可達(dá)2000噸(股)
8月14日,國(guó)務(wù)院國(guó)資委官網(wǎng)發(fā)布消息,由中國(guó)化工黎明化工研究設(shè)計(jì)院承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)項(xiàng)目“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”通過(guò)國(guó)家重大專項(xiàng)項(xiàng)目組測(cè)試與評(píng)審,標(biāo)志著我國(guó)極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需高純度含氟電子氣體實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。目前,黎明院高純四氟化碳和六氟化硫的年產(chǎn)能可達(dá)2000噸,可完全實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的替代。
集成電路是信息社會(huì)的根基。高純度含氟電子氣體是極大規(guī)模集成電路行業(yè)必需的清洗和蝕刻氣體,在芯片制作過(guò)程中保障極大規(guī)模集成電路的生成,確保電路有效發(fā)揮作用。隨著極大規(guī)模集成電路技術(shù)的提升,芯片制程向14納米甚至7納米邁進(jìn),對(duì)電子氣體的純度要求越來(lái)越高。
相關(guān)上市公司:
南大光電(行情300346,診股):通過(guò)控股山東飛源氣體有限公司切入氟系電子特氣市場(chǎng),后者含氟電子氣體已向國(guó)際領(lǐng)先企業(yè)批量供貨,并已完成多種關(guān)鍵含氟電子材料的產(chǎn)業(yè)化準(zhǔn)備;
華特氣體(行情688268,診股):旗下有含氟電子氣體產(chǎn)品。
